開発段階では、ｻﾝﾌﾟﾙ内での材質の分布は一様でなく、平均的な測定では見逃される箇所に価値のある情報が存在することがあります。
　２次元エリプソメータによる測定によって、今まで捨てられていた貴重な情報をくみ出すことができます。

測定精度に関する注釈

　１．光学周波数領域での誘電率は材料の電子分極によるものであり、屈折率の２乗はその尺度です。いっぽう、電子回路で問題にする誘電率はずっと低周波（マイクロ波以下）の周波数領域での電場に対する応答の尺度である双極子分極率です。