サンプル表面に発生する幾何学的異常は、異物、欠陥、膜質異常、パーティクル、傷、反りなどさまざまな要因によっておこり、顕微鏡的観察のみではこれらの異常の弁別を行うことは困難です。

　材質を認識できるというエリプソメトリーの原理と微細観察という2つの特徴を組み合わせることによって、これまで分離することができなかった測定要因（異物か欠陥か膜質異常か）を明確化し、ゴミ、傷、反りなどの幾何学的特徴と膜厚・膜質変動などの物理的特徴とをそれぞれ個別に同時に検出することが可能になります。
　Fig.2には膜厚に異常個所が見られますが、Fig1の屈折率と対応させてみると一方はパーティクルで他方は膜厚の異常であることがわかります。

　Fig.3、Fig.4　はクロートラックとよばれる欠陥箇所の上の酸化膜の測定データです。欠陥の深さが膜厚の厚みで測定できます。