エリプソメータのコンセプト
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エリプソメータってどんなもの？ コンセプト 性能
薄い酸化膜と屈折率測定の重要性 SiO2/Siの測定 多層膜として扱った厚い酸化膜
Poly Si/Si基板裏面 SOI基板 SIMOX
CMPとBEPEシリーズ HR400KによるTFT基板の測定 ３機種の機能の違い
従来のエリプソメータとの比較 半導体プロセスとBEPEシリーズ PELシリーズのラインでの応用例